用于MOCVD的MO源瓶串行供源装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202020224657.7

申请日：

2020-02-28

公开(公告)号：

CN212741580U

公开(公告)日：

2021-03-19

发明(设计)人：

刘银南琦

申请人：

申请人地址：

215000 江苏省苏州市高新区竹园路209号4号楼2301-12

IPC主分类号：

C30B2514

IPC分类号：

C30B2814 C30B2940

代理机构：

南京苏科专利代理有限责任公司 32102

代理人：

姚姣阳

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-03-19	授权	授权

共 50 条

[1]

用于MOCVD的MO源瓶串行供源装置 [P].

刘银 ;

南琦 .

中国专利 :CN111304742A ,2020-06-19

[2]

MO源瓶支架 [P].

林长军 .

中国专利 :CN202865338U ,2013-04-10

[3]

MO源瓶自动调节装置 [P].

宋景锋 ;

傅华 ;

南琦 ;

王辉 ;

王怀兵 .

中国专利 :CN204281856U ,2015-04-22

[4]

一种MO源瓶 [P].

周圣伟 ;

郭晃亨 ;

张家宏 ;

林兓兓 .

中国专利 :CN204529977U ,2015-08-05

[5]

基于MOCVD的有机源装置 [P].

刘恒山 ;

刘慰华 ;

冯猛 ;

陈伟 .

中国专利 :CN205223347U ,2016-05-11

[6]

MO源合成装置 [P].

肖辉 ;

朱刘 ;

于金凤 ;

刘留 .

中国专利 :CN205295198U ,2016-06-08

[7]

一种用于MOCVD设备的MO源供给系统管路 [P].

张念站 ;

李晓东 ;

崔德国 .

中国专利 :CN203878209U ,2014-10-15

[8]

一种MO源瓶支架装置 [P].

施文贞 .

中国专利 :CN210560737U ,2020-05-19

[9]

一种用于光电芯片外延的MOCVD MO源钢瓶手阀装置 [P].

袁小林 .

中国专利 :CN215569725U ,2022-01-18

[10]

一种固态MO源瓶 [P].

徐成 ;

聂江辉 ;

朱刘 .

中国专利 :CN214458307U ,2021-10-22

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