一种用于MOCVD设备的MO源供给系统管路

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201320897283.5

申请日：

2013-12-25

公开(公告)号：

CN203878209U

公开(公告)日：

2014-10-15

发明(设计)人：

张念站李晓东崔德国

申请人：

申请人地址：

215614 江苏省苏州市张家港市凤凰镇凤凰科技园D栋

IPC主分类号：

C23C16455

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法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-10-15	授权	授权

共 50 条

[1]

一种MO源系统管路 [P].

周圣伟 ;

郭晃亨 ;

张家宏 ;

林兓兓 .

中国专利 :CN204477694U ,2015-07-15

[2]

一种用于MOCVD设备GaN外延MO源供给系统 [P].

刘欣 ;

魏唯 ;

陈特超 ;

罗才旺 ;

李克 ;

陈峰武 ;

林伯奇 ;

贾京英 .

中国专利 :CN102732956A ,2012-10-17

[3]

一种用于MOCVD的源材料流量稳定输送装置 [P].

张洪国 ;

房岩 ;

李正磊 ;

王浩增 ;

唐继远 .

中国专利 :CN216614840U ,2022-05-27

[4]

一种MOCVD设备尾气管路结构 [P].

张念站 .

中国专利 :CN203653688U ,2014-06-18

[5]

同时用于多台MOCVD设备的气源供给系统 [P].

吴作贵 ;

朱忻 ;

顾晓岚 .

中国专利 :CN112144041A ,2020-12-29

[6]

一种用于MOCVD设备GaAs基外延掺杂源供给系统 [P].

吴作贵 ;

朱忻 .

中国专利 :CN112144038A ,2020-12-29

[7]

用于MOCVD的MO源瓶串行供源装置 [P].

刘银 ;

南琦 .

中国专利 :CN212741580U ,2021-03-19

[8]

用于系统管路的限流结构 [P].

范君 ;

倪彬夏 ;

汤梦新 .

中国专利 :CN208565911U ,2019-03-01

[9]

一种应用于MOCVD新型液态源汽化系统的控制装置 [P].

孙飞 .

中国专利 :CN213065556U ,2021-04-27

[10]

一种液压系统管路清洗设备 [P].

吴承鑫 .

中国专利 :CN221816936U ,2024-10-11

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