一种瓶胚翘曲度测量装置及测量方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810170231.5

申请日：

2018-03-01

公开(公告)号：

CN108469228A

公开(公告)日：

2018-08-31

发明(设计)人：

曾启林黄嘉兴邱李翔莫永志宁文斌徐志江游强

申请人：

申请人地址：

510000 广东省广州市高新技术产业开发区神舟路19号自编1栋402

IPC主分类号：

G01B1116

IPC分类号：

代理机构：

广东广和律师事务所 44298

代理人：

刘敏

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-09-25	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 11/16 申请日:20180301
2018-08-31	公开	公开

共 50 条

[1]

一种瓶胚翘曲度测量装置及测量方法 [P].

曾启林 ;

黄嘉兴 ;

邱李翔 ;

莫永志 ;

宁文斌 ;

徐志江 ;

游强 .

中国专利 :CN108469228B ,2024-05-10

[2]

一种瓶胚翘曲度测量装置 [P].

曾启林 ;

黄嘉兴 ;

邱李翔 ;

莫永志 ;

宁文斌 ;

徐志江 ;

游强 .

中国专利 :CN207946068U ,2018-10-09

[3]

一种瓶胚翘曲度测量装置 [P].

冯翰新 .

中国专利 :CN211651543U ,2020-10-09

[4]

翘曲度测量设备、翘曲度的测量方法 [P].

袁广中 .

中国专利 :CN117470123A ,2024-01-30

[5]

一种用于测量隔膜翘曲度的测量装置和隔膜翘曲度的测量方法 [P].

王瑞 ;

章勇 ;

尚迎梅 ;

刘建华 ;

刘金成 .

中国专利 :CN119573636A ,2025-03-07

[6]

晶圆翘曲度测量方法 [P].

黄文勇 ;

倪旭东 ;

颜华 ;

马铁中 .

中国专利 :CN115325956B ,2022-11-11

[7]

一种双镜头瓶胚精密测量仪及其测量方法 [P].

曾启林 ;

黄嘉兴 ;

邱李翔 ;

莫永志 ;

宁文斌 ;

徐志江 ;

游强 .

中国专利 :CN108168463A ,2018-06-15

[8]

一种沟道槽翘曲度测量方法及装置 [P].

芈健 ;

陈子琪 ;

乐陶然 ;

刘欢 ;

郭玉芳 .

中国专利 :CN107560561A ,2018-01-09

[9]

翘曲度测量装置 [P].

童嘉俊 ;

阙君桦 ;

冯超 .

中国专利 :CN120702364A ,2025-09-26

[10]

一种导光板翘曲度测量方法 [P].

陈功 ;

朱锡芳 ;

许清泉 ;

杨辉 ;

扬子立 ;

樊笔能 ;

蔡紫君 ;

高磊 ;

杭周 ;

冯善芝 ;

陈洁 .

中国专利 :CN105180885A ,2015-12-23

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