一种用于测量隔膜翘曲度的测量装置和隔膜翘曲度的测量方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411770949.X

申请日：

2024-12-03

公开(公告)号：

CN119573636A

公开(公告)日：

2025-03-07

发明(设计)人：

王瑞章勇尚迎梅刘建华刘金成

申请人：

惠州亿纬锂能股份有限公司

申请人地址：

516006 广东省惠州市仲恺高新区惠风七路38号

IPC主分类号：

G01B21/02

IPC分类号：

G01B21/32

代理机构：

深圳己任同辰知识产权代理有限公司 441184

代理人：

姚再英

法律状态：

公开

国省代码：

江苏省常州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-03-07	公开	公开
2025-03-25	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G01B 21/02申请日:20241203

共 50 条

[1]

翘曲度测量设备、翘曲度的测量方法 [P].

袁广中 .

中国专利 :CN117470123A ,2024-01-30

[2]

翘曲度测量装置 [P].

童嘉俊 ;

阙君桦 ;

冯超 .

中国专利 :CN120702364A ,2025-09-26

[3]

钢板轧制时头部翘曲度的测量方法和测量装置 [P].

王云波 ;

张春阳 ;

张兴起 ;

赵桂琴 .

中国专利 :CN108160717A ,2018-06-15

[4]

平板翘曲度测量装置 [P].

雷强 .

中国专利 :CN210242755U ,2020-04-03

[5]

晶圆翘曲度测量方法 [P].

黄文勇 ;

倪旭东 ;

颜华 ;

马铁中 .

中国专利 :CN115325956B ,2022-11-11

[6]

一种晶片翘曲度的测量方法 [P].

周志豪 ;

刘建飞 ;

杨柳 ;

施明向 ;

吕建满 .

中国专利 :CN110739246A ,2020-01-31

[7]

一种晶圆翘曲度的测量方法和装置 [P].

赵晗 ;

黄自柯 ;

李芳 ;

江献茂 .

中国专利 :CN117968555A ,2024-05-03

[8]

一种晶圆翘曲度的测量方法和装置 [P].

赵晗 ;

黄自柯 ;

李芳 ;

江献茂 .

中国专利 :CN117968555B ,2024-06-14

[9]

一种瓶胚翘曲度测量装置及测量方法 [P].

曾启林 ;

黄嘉兴 ;

邱李翔 ;

莫永志 ;

宁文斌 ;

徐志江 ;

游强 .

中国专利 :CN108469228A ,2018-08-31

[10]

一种瓶胚翘曲度测量装置及测量方法 [P].

曾启林 ;

黄嘉兴 ;

邱李翔 ;

莫永志 ;

宁文斌 ;

徐志江 ;

游强 .

中国专利 :CN108469228B ,2024-05-10

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