一种射频离子源

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201920707277.6

申请日：

2019-05-17

公开(公告)号：

CN209811889U

公开(公告)日：

2019-12-20

发明(设计)人：

施春燕

申请人：

申请人地址：

215636 江苏省苏州市张家港市大新镇海坝路苏州至臻精密光学有限公司

IPC主分类号：

B24B100

IPC分类号：

B24B4100

代理机构：

北京汇捷知识产权代理事务所(普通合伙) 11531

代理人：

李宏伟

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-12-20	授权	授权

共 50 条

[1]

一种射频离子源 [P].

施春燕 .

中国专利 :CN110039383A ,2019-07-23

[2]

射频离子源系统及离子源设备 [P].

刘伟基 ;

冀鸣 ;

赵刚 ;

易洪波 ;

曾文华 ;

刘运鸿 ;

吴秋生 .

中国专利 :CN210866112U ,2020-06-26

[3]

射频离子源 [P].

M·L·朗福德 ;

S·N·凯恩斯 ;

A·J·马 ;

I·B·普利桑茨 .

中国专利 :CN1529898A ,2004-09-15

[4]

射频离子源 [P].

吴秋生 ;

刘伟基 ;

冀鸣 ;

赵刚 ;

易洪波 .

中国专利 :CN215771057U ,2022-02-08

[5]

射频离子源 [P].

M·L·兰富德 ;

J·F·J·托德 .

中国专利 :CN1061781C ,1998-03-04

[6]

一种射频离子源 [P].

任思鸿 .

中国专利 :CN215771062U ,2022-02-08

[7]

射频离子源系统及射频离子源控制方法 [P].

吴秋生 ;

刘伟基 ;

冀鸣 ;

赵刚 ;

易洪波 .

中国专利 :CN114302549B ,2024-02-20

[8]

射频离子源系统及射频离子源控制方法 [P].

吴秋生 ;

刘伟基 ;

冀鸣 ;

赵刚 ;

易洪波 .

中国专利 :CN114302549A ,2022-04-08

[9]

射频离子源 [P].

刘伟基 ;

冀鸣 ;

易洪波 ;

赵刚 ;

吴秋生 ;

曾文华 ;

刘运鸿 .

中国专利 :CN306231123S ,2020-12-15

[10]

射频离子源 [P].

刘伟基 ;

吴秋生 ;

冀鸣 ;

赵刚 ;

易洪波 .

中国专利 :CN307776281S ,2023-01-06

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