离子注入机的离子源

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN200920209614.5

申请日：

2009-09-11

公开(公告)号：

CN201478255U

公开(公告)日：

2010-05-19

发明(设计)人：

简志宏王振辉

申请人：

申请人地址：

201203 上海市张江路18号

IPC主分类号：

H01J3708

IPC分类号：

H01J37317 C30B3122

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-09-03	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01J 37/08 申请日:20090911 授权公告日:20100519 终止日期:20180911
2010-05-19	授权	授权
2013-03-20	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101538193232 IPC(主分类):H01J 37/08 专利号:ZL2009202096145 变更事项:专利权人变更前权利人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司变更后权利人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司变更事项:地址变更前权利人:201203 上海市浦东新区张江路18号变更后权利人:100176 北京市经济技术开发区文昌大道18号登记生效日:20130219

共 50 条

[1]

离子源及离子注入机 [P].

陈中林 ;

刘群超 ;

张兴林 ;

孙彦刚 .

中国专利 :CN203631482U ,2014-06-04

[2]

离子注入机离子源电极插座 [P].

王玉泉 .

中国专利 :CN2788388Y ,2006-06-14

[3]

具有双离子源的离子注入机 [P].

丁杰 ;

严骏 ;

裴雷洪 .

中国专利 :CN203325833U ,2013-12-04

[4]

离子源及采用该离子源的离子注入机 [P].

单易飞 .

中国专利 :CN203983227U ,2014-12-03

[5]

用于玻璃离子注入机的离子源 [P].

赵霞 ;

王志坚 ;

郭乃冬 ;

申伟 .

中国专利 :CN201358213Y ,2009-12-09

[6]

用于离子源的灯丝、离子源及离子注入机 [P].

朴兴雨 ;

李河圣 ;

崔钟武 ;

金成基 .

中国专利 :CN111354613B ,2020-06-30

[7]

离子源装置的外壳、离子源装置以及离子注入机 [P].

曹建伟 ;

沈文杰 ;

沈加富 ;

龚思俊 ;

余世政 ;

李杰 ;

汤承伟 ;

彭建波 .

中国专利 :CN119446871A ,2025-02-14

[8]

用于离子注入机的离子源拆装定位组件 [P].

董建浩 ;

任晖 ;

刘建夺 ;

倪宝岩 ;

母凤文 ;

郭超 .

中国专利 :CN221057356U ,2024-05-31

[9]

离子源装置的外壳、离子源装置以及离子注入机 [P].

曹建伟 ;

沈文杰 ;

沈加富 ;

龚思俊 ;

余世政 ;

李杰 ;

汤承伟 ;

彭建波 .

中国专利 :CN119446871B ,2025-04-01

[10]

一种离子注入机及其离子源设备 [P].

付学礼 .

中国专利 :CN220984469U ,2024-05-17

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