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用于离子源的灯丝、离子源及离子注入机

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201911174571.6
申请日：
2019-11-26
公开(公告)号：
CN111354613B
公开(公告)日：
2020-06-30
发明(设计)人：
朴兴雨 李河圣 崔钟武 金成基
申请人：
申请人地址：
266000 山东省青岛市黄岛区太白山路172号青岛中德生态园双创中心219室
IPC主分类号：
H01J3708
IPC分类号：
H01J37317
代理机构：
深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334
代理人：
彭辉剑;龚慧惠
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2020-06-30 公开 公开
2022-11-08 授权 授权
2020-07-24 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/08 申请日:20191126
共 50 条
[1]
离子源及离子注入机 [P]. 
陈中林 ;
刘群超 ;
张兴林 ;
孙彦刚 .
中国专利 :CN203631482U ,2014-06-04
[2]
离子注入机的离子源 [P]. 
简志宏 ;
王振辉 .
中国专利 :CN201478255U ,2010-05-19
[3]
离子源及采用该离子源的离子注入机 [P]. 
单易飞 .
中国专利 :CN203983227U ,2014-12-03
[4]
用于玻璃离子注入机的离子源 [P]. 
赵霞 ;
王志坚 ;
郭乃冬 ;
申伟 .
中国专利 :CN201358213Y ,2009-12-09
[5]
离子源装置的外壳、离子源装置以及离子注入机 [P]. 
曹建伟 ;
沈文杰 ;
沈加富 ;
龚思俊 ;
余世政 ;
李杰 ;
汤承伟 ;
彭建波 .
中国专利 :CN119446871A ,2025-02-14
[6]
灯丝装夹机构、离子源及离子注入机 [P]. 
黄永濠 ;
蔡实现 ;
黄维 ;
朱昆 .
中国专利 :CN221149937U ,2024-06-14
[7]
离子源装置的外壳、离子源装置以及离子注入机 [P]. 
曹建伟 ;
沈文杰 ;
沈加富 ;
龚思俊 ;
余世政 ;
李杰 ;
汤承伟 ;
彭建波 .
中国专利 :CN119446871B ,2025-04-01
[8]
离子注入机离子源电极插座 [P]. 
王玉泉 .
中国专利 :CN2788388Y ,2006-06-14
[9]
一种用于离子注入机的离子源的灯丝 [P]. 
陈涛 ;
李春龙 ;
刘小俊 ;
卓鸿俊 .
中国专利 :CN114242548A ,2022-03-25
[10]
一种用于离子注入机的离子源的灯丝 [P]. 
陈涛 ;
李春龙 ;
刘小俊 ;
卓鸿俊 .
中国专利 :CN114242548B ,2024-06-04
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