一种双台面直写式曝光机

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201821818325.0

申请日：

2018-11-06

公开(公告)号：

CN209433179U

公开(公告)日：

2019-09-24

发明(设计)人：

不公告发明人

申请人：

申请人地址：

215000 江苏省苏州市工业园区汀兰巷192号C5幢102室

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

苏州国诚专利代理有限公司 32293

代理人：

王丽

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-09-24	授权	授权

共 50 条

[1]

一种双台面激光直写式曝光机 [P].

张雷 ;

李伟成 .

中国专利 :CN208969430U ,2019-06-11

[2]

一种双台面直写式曝光机及其曝光方法 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN109143797A ,2019-01-04

[3]

一种双台面直写式曝光机 [P].

章卫平 ;

刘栋 ;

蔡瑞 ;

朱道龙 ;

李伟成 ;

张雷 .

中国专利 :CN211741826U ,2020-10-23

[4]

一种双台面直写曝光机 [P].

蔡志国 ;

王友车 ;

胥涛朋 ;

朱亮 .

中国专利 :CN206292532U ,2017-06-30

[5]

一种双台面激光直写曝光机 [P].

陆敏婷 .

中国专利 :CN205003441U ,2016-01-27

[6]

一种双台面直写式曝光机的曝光系统 [P].

赵永翠 ;

陈海巍 .

中国专利 :CN205862101U ,2017-01-04

[7]

一种双台面直写式曝光机及其曝光方法 [P].

章卫平 ;

刘栋 ;

蔡瑞 ;

朱道龙 ;

李伟成 ;

张雷 .

中国专利 :CN112698549A ,2021-04-23

[8]

一种单台面直写式曝光机 [P].

蔡志国 ;

王友车 ;

吴斌 .

中国专利 :CN206378688U ,2017-08-04

[9]

一种双台面直写式曝光机的曝光系统和曝光方法 [P].

赵永翠 ;

陈海巍 .

中国专利 :CN106066581A ,2016-11-02

[10]

一种用于双台面激光直写曝光机的延展吸盘 [P].

陈波 .

中国专利 :CN211698588U ,2020-10-16

← 1 2 3 4 5 →