一种双台面直写曝光机

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201621386254.2

申请日：

2016-12-16

公开(公告)号：

CN206292532U

公开(公告)日：

2017-06-30

发明(设计)人：

蔡志国王友车胥涛朋朱亮

申请人：

申请人地址：

215009 江苏省苏州市高新区火炬路85号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

深圳市合道英联专利事务所(普通合伙) 44309

代理人：

廉红果

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-06-30	授权	授权

共 50 条

[1]

一种双台面直写式曝光机 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN209433179U ,2019-09-24

[2]

一种双台面直写式曝光机 [P].

章卫平 ;

刘栋 ;

蔡瑞 ;

朱道龙 ;

李伟成 ;

张雷 .

中国专利 :CN211741826U ,2020-10-23

[3]

一种双台面激光直写曝光机 [P].

陆敏婷 .

中国专利 :CN205003441U ,2016-01-27

[4]

一种双台面激光直写式曝光机 [P].

张雷 ;

李伟成 .

中国专利 :CN208969430U ,2019-06-11

[5]

一种双台面直写式曝光机的曝光系统 [P].

赵永翠 ;

陈海巍 .

中国专利 :CN205862101U ,2017-01-04

[6]

一种双台面直写式曝光机及其曝光方法 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN109143797A ,2019-01-04

[7]

一种双台面直写式曝光机及其曝光方法 [P].

章卫平 ;

刘栋 ;

蔡瑞 ;

朱道龙 ;

李伟成 ;

张雷 .

中国专利 :CN112698549A ,2021-04-23

[8]

一种用于双台面激光直写曝光机的延展吸盘 [P].

陈波 .

中国专利 :CN211698588U ,2020-10-16

[9]

双台面曝光机 [P].

林垂真 ;

周川 ;

张华 ;

吴越 ;

项铭 ;

向正西 ;

杜一 .

中国专利 :CN216873722U ,2022-07-01

[10]

一种单台面直写式曝光机 [P].

蔡志国 ;

王友车 ;

吴斌 .

中国专利 :CN206378688U ,2017-08-04

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