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一种半自动式纳米压印设备
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202121008009.9
申请日：
2021-05-12
公开(公告)号：
CN215181395U
公开(公告)日：
2021-12-14
发明(设计)人：
不公告发明人
申请人：
申请人地址：
215505 江苏省苏州市常熟高新技术产业开发区东南大道1号810室
IPC主分类号：
G03F700
IPC分类号：
代理机构：
天津市科航尚博专利代理事务所(普通合伙) 12234
代理人：
吴疆
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-12-14 | 授权 | 授权 |