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一种步进式纳米压印设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202410147086.4
申请日：
2024-02-02
公开(公告)号：
CN117930585A
公开(公告)日：
2024-04-26
发明(设计)人：
邓萌萌
申请人：
璞璘科技（杭州）有限公司
申请人地址：
311400 浙江省杭州市富阳区银湖街道中国智谷富春园区12号楼10楼1002室
IPC主分类号：
G03F7/00
IPC分类号：
代理机构：
杭州大道知识产权代理有限公司 33525
代理人：
奚丽萍
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
浙江省
杭州市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-05-14 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/00申请日:20240202 |
| 2024-04-26 | 公开 | 公开 |