静电夹盘、玻璃基板处理方法及其玻璃基板

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201380059698.8

申请日：

2013-10-21

公开(公告)号：

CN104854692B

公开(公告)日：

2015-08-19

发明(设计)人：

辰巳良昭菅原利文

申请人：

申请人地址：

日本神奈川县

IPC主分类号：

H01L21683

IPC分类号：

C03C1700 C23C1450

代理机构：

隆天知识产权代理有限公司 72003

代理人：

王芝艳;冯志云

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-09-16	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101625683456 IPC(主分类):H01L 21/683 专利申请号:2013800596988 申请日:20131021
2017-09-08	授权	授权
2015-08-19	公开	公开

共 50 条

[1]

玻璃基板防静电处理装置及玻璃基板防静电处理方法 [P].

杨善方 ;

李青 ;

李赫然 ;

董光明 ;

陈涛涛 ;

周荧彬 ;

刘小东 ;

赵玉乐 ;

李震 .

中国专利 :CN117776541A ,2024-03-29

[2]

玻璃基板去静电设备及玻璃基板去静电方法 [P].

施利君 ;

胡磊 ;

蒋新 .

中国专利 :CN117602843A ,2024-02-27

[3]

玻璃基板处理装置、玻璃基板处理系统和处理方法 [P].

神田敏朗 ;

长野由龟雄 ;

芦田兼治 .

中国专利 :CN1939853A ,2007-04-04

[4]

玻璃基板的处理方法及化学强化玻璃基板 [P].

藤原祐辅 .

中国专利 :CN112441753A ,2021-03-05

[5]

玻璃基板除静电装置 [P].

陈宽政 .

中国专利 :CN210518970U ,2020-05-12

[6]

玻璃基板表面处理方法 [P].

陈志士 .

中国专利 :CN102922410B ,2013-02-13

[7]

玻璃基板的处理方法 [P].

马岳 .

中国专利 :CN119504151A ,2025-02-25

[8]

玻璃基板处理装置 [P].

徐涛 .

中国专利 :CN106094291A ,2016-11-09

[9]

玻璃基板、层叠基板以及玻璃基板的制造方法 [P].

野村周平 ;

小野和孝 .

中国专利 :CN107207323B ,2017-09-26

[10]

玻璃及其制备方法和玻璃基板 [P].

李青 ;

李赫然 ;

姚荣江 ;

胡恒广 ;

闫冬成 ;

张广涛 ;

刘文渊 ;

刘丹 ;

张盼 .

中国专利 :CN116143404B ,2024-09-10

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