玻璃基板处理装置、玻璃基板处理系统和处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200610159930.7

申请日：

2006-09-26

公开(公告)号：

CN1939853A

公开(公告)日：

2007-04-04

发明(设计)人：

神田敏朗长野由龟雄芦田兼治

申请人：

申请人地址：

日本大阪

IPC主分类号：

C03B2900

IPC分类号：

C03B5235

代理机构：

北京纪凯知识产权代理有限公司

代理人：

龙淳

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2007-04-04	公开	公开
2009-05-27	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回

共 50 条

[1]

基板处理装置、基板处理系统和基板处理方法 [P].

刘福强 ;

王嘉琪 ;

史霄 ;

张康 ;

吴尚东 .

中国专利 :CN117650079A ,2024-03-05

[2]

基板处理方法、基板处理装置和基板处理系统 [P].

村冈祐介 ;

齐藤公续 ;

岩田智巳 ;

深津英司 ;

溝端一国雄 ;

上野博之 ;

奥山靖夫 ;

蒲隆 ;

坂下由彦 ;

渡边克充 ;

宗政淳 ;

大柴久典 ;

猿丸正悟 .

中国专利 :CN1501439A ,2004-06-02

[3]

基板处理装置、基板处理方法和基板处理系统 [P].

井上正史 ;

泷昭彦 ;

谷口宽树 ;

田中孝佳 ;

中野佑太 .

中国专利 :CN108257890B ,2018-07-06

[4]

基板处理方法、基板处理装置和基板处理系统 [P].

有贺美辉 ;

山崎和良 ;

青山真太郎 ;

下村晃司 .

中国专利 :CN101326620B ,2008-12-17

[5]

基板处理方法、基板处理系统和基板处理装置 [P].

榎本正志 ;

近藤良弘 .

中国专利 :CN107533955A ,2018-01-02

[6]

基板处理方法、基板处理装置和基板处理系统 [P].

安俊建 ;

李廷焕 ;

权五烈 ;

朴修永 ;

梁承太 .

中国专利 :CN111843218A ,2020-10-30

[7]

基板处理系统以及基板处理装置 [P].

佐藤亮 ;

齐藤均 .

中国专利 :CN101315877B ,2008-12-03

[8]

基板处理装置、基板处理系统及基板处理方法 [P].

岩田敬次 ;

森田明 ;

高桥朋宏 ;

枝光建治 ;

杉冈真治 .

日本专利 :CN112017997B ,2024-03-22

[9]

基板处理装置、基板处理系统及基板处理方法 [P].

岩田敬次 ;

森田明 ;

高桥朋宏 ;

枝光建治 ;

杉冈真治 .

中国专利 :CN112017997A ,2020-12-01

[10]

玻璃基板交换机以及玻璃基板处理系统 [P].

张磊 ;

胡杨林 ;

曲迎娣 ;

王宏亮 ;

张丽 ;

高晓芳 .

中国专利 :CN206218836U ,2017-06-06

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