一种MEMS麦克风中的振膜结构

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201420575885.3
申请日
2014-09-30
公开(公告)号
CN204119483U
公开(公告)日
2015-01-21
发明(设计)人
蔡孟锦
申请人
申请人地址
261031 山东省潍坊市高新技术开发区东方路268号
IPC主分类号
H04R700
IPC分类号
H04R1904
代理机构
北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442
代理人
马佑平;王昭智
法律状态
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
国省代码
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共 50 条
[1]
一种MEMS麦克风中的振膜结构及其制造方法 [P]. 
蔡孟锦 .
中国专利 :CN104270701A ,2015-01-07
[2]
一种MEMS麦克风中的振膜及MEMS麦克风 [P]. 
邱冠勳 ;
蔡孟锦 ;
詹竣凱 ;
周宗燐 ;
李俊 ;
李江龙 .
中国专利 :CN206908856U ,2018-01-19
[3]
一种MEMS麦克风中的振膜及MEMS麦克风 [P]. 
蔡孟锦 ;
邱冠勋 ;
詹竣凯 ;
周宗燐 .
中国专利 :CN206365042U ,2017-07-28
[4]
MEMS麦克风的振膜结构及MEMS麦克风 [P]. 
万蔡辛 .
中国专利 :CN204836578U ,2015-12-02
[5]
一种MEMS麦克风中的振膜及MEMS麦克风 [P]. 
詹竣凯 ;
蔡孟锦 .
中国专利 :CN106375912B ,2017-02-01
[6]
MEMS麦克风及其振膜结构 [P]. 
胡永刚 ;
冷华星 ;
冯栋 .
中国专利 :CN114697841A ,2022-07-01
[7]
一种MEMS麦克风中的背极及MEMS麦克风 [P]. 
邱冠勳 ;
詹竣凱 ;
蔡孟锦 .
中国专利 :CN207475874U ,2018-06-08
[8]
麦克风中的振膜 [P]. 
王新闵 ;
邱冠勋 ;
周宗燐 ;
卓彦萱 .
中国专利 :CN211240078U ,2020-08-11
[9]
麦克风中的振膜 [P]. 
王新闵 ;
邱冠勋 ;
周宗燐 ;
卓彦萱 .
中国专利 :CN111147990A ,2020-05-12
[10]
MEMS麦克风和用于防止MEMS麦克风中的漏电的方法 [P]. 
B.M.戴蒙德 ;
J.M.穆萨 ;
J.W.齐恩 .
中国专利 :CN106465022B ,2017-02-22