一种湿法刻蚀机

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201320184838.1

申请日：

2013-04-12

公开(公告)号：

CN203218234U

公开(公告)日：

2013-09-25

发明(设计)人：

李建朋吴成新王海涛王月超郑志勇

申请人：

申请人地址：

301510 天津市滨海新区津汉公路13888号滨海高新区滨海科技园日新道188号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L3118

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

魏晓波

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-09-25	授权	授权

共 50 条

[1]

湿法刻蚀器件和湿法刻蚀机 [P].

刘峻承 ;

涂智超 ;

黄于维 .

中国专利 :CN204596768U ,2015-08-26

[2]

一种湿法刻蚀机 [P].

李建朋 ;

吴成新 ;

王海涛 ;

王月超 ;

王超 .

中国专利 :CN203179850U ,2013-09-04

[3]

一种湿法刻蚀机 [P].

张家明 ;

王维康 ;

何烨谦 ;

黄德新 .

中国专利 :CN221176171U ,2024-06-18

[4]

一种湿法刻蚀机及其刻蚀槽 [P].

吴成新 ;

李建朋 ;

李永洋 ;

王海涛 ;

王月超 ;

梁楠楠 ;

康莹 .

中国专利 :CN203967049U ,2014-11-26

[5]

硅片湿法刻蚀机 [P].

陈五奎 ;

李军 ;

徐文州 ;

陈磊 ;

冯加保 .

中国专利 :CN204189774U ,2015-03-04

[6]

一种湿法刻蚀机刻蚀装置 [P].

胡伟 ;

叶成枝 ;

肖冠华 ;

杨子衡 ;

吴代吾 ;

侯智 .

中国专利 :CN203782235U ,2014-08-20

[7]

一种湿法刻蚀机 [P].

刘苏涛 ;

苏财宝 ;

林士闵 .

中国专利 :CN218004795U ,2022-12-09

[8]

一种湿法刻蚀机 [P].

张杰 ;

曾一鑫 .

中国专利 :CN222421887U ,2025-01-28

[9]

一种湿法刻蚀机 [P].

闫乐成 ;

秦宝宏 ;

辛奇 ;

徐锋 ;

文冬 ;

郭杰 ;

胡凯 .

中国专利 :CN221836756U ,2024-10-15

[10]

一种湿法刻蚀机 [P].

李永洋 ;

李建朋 ;

吴成新 ;

王月超 ;

杨晓超 .

中国专利 :CN203967050U ,2014-11-26

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