一种湿法刻蚀机及其刻蚀槽

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201420420427.2

申请日：

2014-07-28

公开(公告)号：

CN203967049U

公开(公告)日：

2014-11-26

发明(设计)人：

吴成新李建朋李永洋王海涛王月超梁楠楠康莹

申请人：

申请人地址：

301510 天津市滨海新区津汉公路13888号滨海高新区滨海科技园日新道188号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L3118

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

罗满

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-11-26	授权	授权

共 50 条

[1]

湿法刻蚀槽以及湿法刻蚀设备 [P].

刘海亮 ;

王鹏涛 ;

严清涛 ;

许非凡 .

中国专利 :CN206541807U ,2017-10-03

[2]

一种湿法刻蚀槽 [P].

苏竑森 ;

管士亚 .

中国专利 :CN220439569U ,2024-02-02

[3]

一种刻蚀槽装置及湿法刻蚀设备 [P].

陈大鹏 ;

冉晓芳 ;

邬小可 ;

马律成 ;

王森 ;

王一川 .

中国专利 :CN218371759U ,2023-01-24

[4]

一种盖板、湿法刻蚀槽和湿法刻蚀设备 [P].

周伯柱 ;

郑载润 ;

吴代吾 ;

王世凯 ;

訾玉宝 ;

张洪波 ;

耿军 ;

刘剑钊 .

中国专利 :CN202363434U ,2012-08-01

[5]

一种解决湿法刻蚀机刻蚀槽循环冒泡的装置 [P].

李志强 ;

刘谦 ;

王鹏 ;

黄治国 .

中国专利 :CN203846108U ,2014-09-24

[6]

一种设有刻蚀槽装置的湿法刻蚀设备 [P].

赵建江 ;

魏宏雨 ;

刘强 ;

周涛 ;

黄杰 .

中国专利 :CN221766710U ,2024-09-24

[7]

一种湿法刻蚀槽 [P].

叶权华 ;

肖杨鑫 .

中国专利 :CN202120970U ,2012-01-18

[8]

一种湿法刻蚀槽 [P].

陈建都 ;

邓世刚 .

中国专利 :CN107130243A ,2017-09-05

[9]

一种湿法刻蚀机刻蚀装置 [P].

胡伟 ;

叶成枝 ;

肖冠华 ;

杨子衡 ;

吴代吾 ;

侯智 .

中国专利 :CN203782235U ,2014-08-20

[10]

一种湿法刻蚀机 [P].

李建朋 ;

吴成新 ;

王海涛 ;

王月超 ;

郑志勇 .

中国专利 :CN203218234U ,2013-09-25

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