一种湿法刻蚀槽

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202322105347.X

申请日：

2023-08-07

公开(公告)号：

CN220439569U

公开(公告)日：

2024-02-02

发明(设计)人：

苏竑森管士亚

申请人：

嘉芯闳扬半导体设备科技（浙江）有限公司

申请人地址：

314102 浙江省嘉兴市嘉善县西塘镇南苑西路999号4幢西侧

IPC主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

H01L21/306

代理机构：

嘉兴尚正专利代理事务所(普通合伙) 33467

代理人：

赵文静

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-02-02	授权	授权

共 50 条

[1]

一种湿法刻蚀机及其刻蚀槽 [P].

吴成新 ;

李建朋 ;

李永洋 ;

王海涛 ;

王月超 ;

梁楠楠 ;

康莹 .

中国专利 :CN203967049U ,2014-11-26

[2]

一种刻蚀槽装置及湿法刻蚀设备 [P].

陈大鹏 ;

冉晓芳 ;

邬小可 ;

马律成 ;

王森 ;

王一川 .

中国专利 :CN218371759U ,2023-01-24

[3]

一种湿法刻蚀槽 [P].

叶权华 ;

肖杨鑫 .

中国专利 :CN202120970U ,2012-01-18

[4]

一种湿法刻蚀槽 [P].

陈建都 ;

邓世刚 .

中国专利 :CN107130243A ,2017-09-05

[5]

湿法刻蚀槽以及湿法刻蚀设备 [P].

刘海亮 ;

王鹏涛 ;

严清涛 ;

许非凡 .

中国专利 :CN206541807U ,2017-10-03

[6]

一种盖板、湿法刻蚀槽和湿法刻蚀设备 [P].

周伯柱 ;

郑载润 ;

吴代吾 ;

王世凯 ;

訾玉宝 ;

张洪波 ;

耿军 ;

刘剑钊 .

中国专利 :CN202363434U ,2012-08-01

[7]

一种常温湿法刻蚀槽 [P].

陈五奎 ;

曹卫宏 ;

耿荣军 ;

陈辉 ;

庞坤 .

中国专利 :CN215496763U ,2022-01-11

[8]

一种设有刻蚀槽装置的湿法刻蚀设备 [P].

赵建江 ;

魏宏雨 ;

刘强 ;

周涛 ;

黄杰 .

中国专利 :CN221766710U ,2024-09-24

[9]

一种湿法刻蚀槽支架 [P].

李龙 ;

马宏力 ;

任艳庆 ;

王志国 ;

张占 .

中国专利 :CN202415689U ,2012-09-05

[10]

湿法刻蚀槽 [P].

李子然 ;

姚江波 .

中国专利 :CN109817552A ,2019-05-28

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