湿法刻蚀槽以及湿法刻蚀设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201720109655.1

申请日：

2017-02-06

公开(公告)号：

CN206541807U

公开(公告)日：

2017-10-03

发明(设计)人：

刘海亮王鹏涛严清涛许非凡

申请人：

申请人地址：

215300 江苏省苏州市昆山市开发区前进中路167号1幢（国际大厦）1517屋

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L2712

代理机构：

北京润平知识产权代理有限公司 11283

代理人：

李雪;李翔

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-10-03	授权	授权

共 50 条

[1]

湿法刻蚀方法以及湿法刻蚀设备 [P].

张凌越 ;

王强 .

中国专利 :CN102437045A ,2012-05-02

[2]

湿法刻蚀设备和湿法刻蚀方法 [P].

丁向前 ;

刘晓伟 ;

刘耀 ;

郭总杰 .

中国专利 :CN104018158A ,2014-09-03

[3]

湿法刻蚀槽 [P].

李子然 ;

姚江波 .

中国专利 :CN109817552A ,2019-05-28

[4]

一种盖板、湿法刻蚀槽和湿法刻蚀设备 [P].

周伯柱 ;

郑载润 ;

吴代吾 ;

王世凯 ;

訾玉宝 ;

张洪波 ;

耿军 ;

刘剑钊 .

中国专利 :CN202363434U ,2012-08-01

[5]

湿法刻蚀清洗设备以及湿法刻蚀清洗方法 [P].

张凌越 ;

郭国超 ;

王强 ;

杨勇 ;

张瑞明 .

中国专利 :CN102496560A ,2012-06-13

[6]

湿法刻蚀设备 [P].

董新杰 .

中国专利 :CN205881881U ,2017-01-11

[7]

湿法刻蚀设备 [P].

干怀渝 ;

迟世兴 ;

赵嘉 ;

杜清龙 .

中国专利 :CN220400547U ,2024-01-26

[8]

湿法刻蚀设备 [P].

范学丽 ;

孙文昌 .

中国专利 :CN202126999U ,2012-01-25

[9]

湿法刻蚀设备 [P].

梁堰风 ;

杨永刚 ;

张丝柳 ;

苏界 ;

王家成 .

中国专利 :CN215815802U ,2022-02-11

[10]

湿法刻蚀设备及湿法刻蚀方法 [P].

陆丛希 .

中国专利 :CN121149048A ,2025-12-16

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