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湿法刻蚀设备和湿法刻蚀方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201410225223.8
申请日：
2014-05-26
公开(公告)号：
CN104018158A
公开(公告)日：
2014-09-03
发明(设计)人：
丁向前
刘晓伟
刘耀
郭总杰
申请人：
申请人地址：
100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号
IPC主分类号：
C23F108
IPC分类号：
代理机构：
北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291
代理人：
黄志华
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2014-09-03 | 公开 | 公开 |
| 2014-10-08 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101587263631 IPC(主分类):C23F 1/08 专利申请号:2014102252238 申请日:20140526 |
| 2017-06-06 | 发明专利申请公布后的驳回 | 发明专利申请公布后的驳回 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101752695503 IPC(主分类):C23F 1/08 专利申请号:2014102252238 申请公布日:20140903 |