学术探索
学术期刊
学术作者
新闻热点
数据分析
智能评审

湿法刻蚀设备及湿法刻蚀方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202511290075.2
申请日：
2025-09-10
公开(公告)号：
CN121149048A
公开(公告)日：
2025-12-16
发明(设计)人：
陆丛希
申请人：
上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司
申请人地址：
201807 上海市嘉定区娄陆公路497号
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
H01L21/306
代理机构：
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237
代理人：
赵素香
法律状态：
公开
国省代码：
上海市 市辖区
引用
下载
收藏
法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-12-16 公开 公开
共 50 条
[1]
湿法刻蚀设备及湿法刻蚀方法 [P]. 
刘哲准 .
中国专利 :CN118352261A ,2024-07-16
[2]
湿法刻蚀设备及湿法刻蚀方法 [P]. 
薛大鹏 .
中国专利 :CN105742213B ,2016-07-06
[3]
湿法刻蚀系统、湿法刻蚀方法 [P]. 
姚嫦娲 .
中国专利 :CN103985660B ,2014-08-13
[4]
湿法刻蚀设备和湿法刻蚀方法 [P]. 
丁向前 ;
刘晓伟 ;
刘耀 ;
郭总杰 .
中国专利 :CN104018158A ,2014-09-03
[5]
湿法刻蚀方法以及湿法刻蚀设备 [P]. 
张凌越 ;
王强 .
中国专利 :CN102437045A ,2012-05-02
[6]
一种湿法刻蚀设备及湿法刻蚀方法 [P]. 
褚海波 .
中国专利 :CN110364421B ,2019-10-22
[7]
湿法刻蚀系统及湿法刻蚀方法 [P]. 
薛大鹏 .
中国专利 :CN106653659A ,2017-05-10
[8]
湿法刻蚀方法及湿法刻蚀装置 [P]. 
郝晓波 .
中国专利 :CN103606518B ,2014-02-26
[9]
湿法刻蚀槽以及湿法刻蚀设备 [P]. 
刘海亮 ;
王鹏涛 ;
严清涛 ;
许非凡 .
中国专利 :CN206541807U ,2017-10-03
[10]
湿法刻蚀控制系统、湿法刻蚀机和湿法刻蚀控制方法 [P]. 
陈信宏 ;
黄焱誊 .
中国专利 :CN114171424A ,2022-03-11
12345