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一种湿法刻蚀设备及湿法刻蚀方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201910647531.2
申请日：
2019-07-17
公开(公告)号：
CN110364421B
公开(公告)日：
2019-10-22
发明(设计)人：
褚海波
申请人：
申请人地址：
430205 湖北省武汉市东湖开发区高新四路18号
IPC主分类号：
H01L2102
IPC分类号：
H01L2167
H01L21677
代理机构：
上海申新律师事务所 31272
代理人：
俞涤炯
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-02-25 | 授权 | 授权 |
| 2019-10-22 | 公开 | 公开 |
| 2019-11-15 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/02 申请日:20190717 |