湿法刻蚀设备及湿法刻蚀方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610128624.0

申请日：

2016-03-07

公开(公告)号：

CN105742213B

公开(公告)日：

2016-07-06

发明(设计)人：

薛大鹏

申请人：

申请人地址：

100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L213213

代理机构：

北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙) 11348

代理人：

王伟锋;刘铁生

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-08-03	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101672632634 IPC(主分类):H01L 21/67 专利申请号:2016101286240 申请日:20160307
2016-07-06	公开	公开
2019-03-12	授权	授权

共 50 条

[1]

湿法刻蚀系统及湿法刻蚀方法 [P].

薛大鹏 .

中国专利 :CN106653659A ,2017-05-10

[2]

湿法刻蚀设备及湿法刻蚀方法 [P].

刘哲准 .

中国专利 :CN118352261A ,2024-07-16

[3]

湿法刻蚀设备及湿法刻蚀方法 [P].

陆丛希 .

中国专利 :CN121149048A ,2025-12-16

[4]

湿法刻蚀设备和湿法刻蚀方法 [P].

丁向前 ;

刘晓伟 ;

刘耀 ;

郭总杰 .

中国专利 :CN104018158A ,2014-09-03

[5]

湿法刻蚀方法以及湿法刻蚀设备 [P].

张凌越 ;

王强 .

中国专利 :CN102437045A ,2012-05-02

[6]

一种湿法刻蚀设备及湿法刻蚀方法 [P].

褚海波 .

中国专利 :CN110364421B ,2019-10-22

[7]

一种湿法刻蚀设备及湿法刻蚀方法 [P].

房现飞 ;

周广福 ;

代智杰 ;

孟原 .

中国专利 :CN103409752A ,2013-11-27

[8]

湿法刻蚀方法及湿法刻蚀装置 [P].

郝晓波 .

中国专利 :CN103606518B ,2014-02-26

[9]

湿法刻蚀设备 [P].

薛大鹏 .

中国专利 :CN104681471A ,2015-06-03

[10]

湿法刻蚀设备 [P].

方灵新 ;

王钊 ;

杨洁 ;

张昕宇 ;

沈梦超 ;

顾文贤 .

中国专利 :CN222814767U ,2025-04-29

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