湿法刻蚀设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202420656684.X

申请日：

2024-04-01

公开(公告)号：

CN222814767U

公开(公告)日：

2025-04-29

发明(设计)人：

方灵新王钊杨洁张昕宇沈梦超顾文贤

申请人：

浙江晶科能源有限公司晶科能源股份有限公司

申请人地址：

314400 浙江省嘉兴市海宁市袁花镇袁溪路58号

IPC主分类号：

H10F71/00

IPC分类号：

H01L21/67 H01L21/66 H01L21/306 G01N33/00

代理机构：

华进联合专利商标代理有限公司 44224

代理人：

别亚琴

法律状态：

授权

国省代码：

浙江省嘉兴市

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-04-29	授权	授权

共 50 条

[1]

湿法刻蚀设备及湿法刻蚀方法 [P].

刘哲准 .

中国专利 :CN118352261A ,2024-07-16

[2]

旋转湿法刻蚀设备 [P].

杨抗 .

中国专利 :CN208903981U ,2019-05-24

[3]

湿法刻蚀设备和湿法刻蚀方法 [P].

丁向前 ;

刘晓伟 ;

刘耀 ;

郭总杰 .

中国专利 :CN104018158A ,2014-09-03

[4]

湿法刻蚀设备及湿法刻蚀方法 [P].

薛大鹏 .

中国专利 :CN105742213B ,2016-07-06

[5]

湿法刻蚀设备 [P].

薛大鹏 .

中国专利 :CN104681471A ,2015-06-03

[6]

湿法刻蚀设备 [P].

陈建锋 .

中国专利 :CN110197802B ,2019-09-03

[7]

湿法刻蚀设备 [P].

干怀渝 ;

迟世兴 ;

赵嘉 ;

杜清龙 .

中国专利 :CN220400547U ,2024-01-26

[8]

恒温湿法刻蚀设备 [P].

杨抗 .

中国专利 :CN209312722U ,2019-08-27

[9]

一种湿法刻蚀设备 [P].

左岳平 .

中国专利 :CN203787389U ,2014-08-20

[10]

旋转湿法刻蚀设备及方法 [P].

杨抗 .

中国专利 :CN111180351A ,2020-05-19

← 1 2 3 4 5 →