一种湿法刻蚀设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201420208570.5

申请日：

2014-04-25

公开(公告)号：

CN203787389U

公开(公告)日：

2014-08-20

发明(设计)人：

左岳平

申请人：

申请人地址：

100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号

IPC主分类号：

H01L2166

IPC分类号：

H01L21306 H01L21465

代理机构：

北京中博世达专利商标代理有限公司 11274

代理人：

申健

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-08-20	授权	授权

共 50 条

[1]

一种湿法刻蚀设备及湿法刻蚀方法 [P].

褚海波 .

中国专利 :CN110364421B ,2019-10-22

[2]

一种湿法刻蚀设备及湿法刻蚀方法 [P].

房现飞 ;

周广福 ;

代智杰 ;

孟原 .

中国专利 :CN103409752A ,2013-11-27

[3]

一种湿法刻蚀设备 [P].

杨汪扬 ;

林军 .

中国专利 :CN117373946A ,2024-01-09

[4]

湿法刻蚀设备及湿法刻蚀方法 [P].

刘哲准 .

中国专利 :CN118352261A ,2024-07-16

[5]

湿法刻蚀设备 [P].

方灵新 ;

王钊 ;

杨洁 ;

张昕宇 ;

沈梦超 ;

顾文贤 .

中国专利 :CN222814767U ,2025-04-29

[6]

一种刻蚀槽装置及湿法刻蚀设备 [P].

陈大鹏 ;

冉晓芳 ;

邬小可 ;

马律成 ;

王森 ;

王一川 .

中国专利 :CN218371759U ,2023-01-24

[7]

旋转湿法刻蚀设备 [P].

杨抗 .

中国专利 :CN208903981U ,2019-05-24

[8]

一种湿法刻蚀设备和湿法刻蚀的方法 [P].

赵德江 .

中国专利 :CN106898569A ,2017-06-27

[9]

一种用于湿法刻蚀的喷嘴、湿法刻蚀设备 [P].

吴良辉 ;

蒋阳波 ;

李君 ;

张静平 ;

游晓英 .

中国专利 :CN107591348A ,2018-01-16

[10]

一种湿法刻蚀设备 [P].

余维嘉 ;

李国利 ;

王浩增 ;

房岩 .

中国专利 :CN222749451U ,2025-04-11

← 1 2 3 4 5 →