一种用于湿法刻蚀的喷嘴、湿法刻蚀设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710784748.9

申请日：

2017-08-31

公开(公告)号：

CN107591348A

公开(公告)日：

2018-01-16

发明(设计)人：

吴良辉蒋阳波李君张静平游晓英

申请人：

申请人地址：

430074 湖北省武汉市东湖开发区关东科技工业园华光大道18号7018室

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

党丽;王宝筠

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-05-07	授权	授权
2018-02-09	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20170831
2018-01-16	公开	公开

共 50 条

[1]

一种用于湿法刻蚀的干燥喷嘴、湿法刻蚀设备 [P].

吴良辉 ;

蒋阳波 ;

张静平 ;

李君 ;

顾立勋 .

中国专利 :CN107579026B ,2018-01-12

[2]

湿法刻蚀设备和湿法刻蚀方法 [P].

丁向前 ;

刘晓伟 ;

刘耀 ;

郭总杰 .

中国专利 :CN104018158A ,2014-09-03

[3]

湿法刻蚀设备及湿法刻蚀方法 [P].

刘哲准 .

中国专利 :CN118352261A ,2024-07-16

[4]

湿法刻蚀设备及湿法刻蚀方法 [P].

薛大鹏 .

中国专利 :CN105742213B ,2016-07-06

[5]

一种湿法刻蚀设备和湿法刻蚀的方法 [P].

赵德江 .

中国专利 :CN106898569A ,2017-06-27

[6]

一种湿法刻蚀设备及湿法刻蚀方法 [P].

褚海波 .

中国专利 :CN110364421B ,2019-10-22

[7]

一种湿法刻蚀设备及湿法刻蚀方法 [P].

房现飞 ;

周广福 ;

代智杰 ;

孟原 .

中国专利 :CN103409752A ,2013-11-27

[8]

湿法刻蚀设备 [P].

薛大鹏 .

中国专利 :CN104681471A ,2015-06-03

[9]

湿法刻蚀设备 [P].

方灵新 ;

王钊 ;

杨洁 ;

张昕宇 ;

沈梦超 ;

顾文贤 .

中国专利 :CN222814767U ,2025-04-29

[10]

湿法刻蚀设备 [P].

陈建锋 .

中国专利 :CN110197802B ,2019-09-03

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