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一种旋转溅射阴极装置
被引：0
申请号：
CN202221978974.3
申请日：
2022-07-28
公开(公告)号：
CN217839113U
公开(公告)日：
2022-11-18
发明(设计)人：
靳伟
何云鹏
申请人：
申请人地址：
200436 上海市宝山区宝山城市工业园区城银路267，297号
IPC主分类号：
C23C1435
IPC分类号：
代理机构：
北京品源专利代理有限公司 11332
代理人：
陈宏
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-11-18 | 授权 | 授权 |