半导体基板以及半导体基板的制造方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN200880119996.0
申请日
2008-12-26
公开(公告)号
CN101897004A
公开(公告)日
2010-11-24
发明(设计)人
高田朋幸 山中贞则 秦雅彦 山本武继 和田一实
申请人
申请人地址
日本国东京都
IPC主分类号
H01L21205
IPC分类号
H01L2120 H01L21331 H01L21338 H01L2926 H01L29737 H01L29778 H01L29812
代理机构
中科专利商标代理有限责任公司 11021
代理人
朱丹
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
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[2]
半导体基板的制造方法及半导体基板 [P]. 
秦淳也 ;
中野强 .
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[3]
半导体基板以及半导体基板的制造方法 [P]. 
今冈功 ;
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[4]
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[5]
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[6]
半导体基板、半导体基板的制造方法以及电子器件 [P]. 
高田朋幸 ;
山中贞则 ;
秦雅彦 ;
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[7]
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[8]
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[9]
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[10]
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