一种石英舟硅片顶升机构

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202020689778.9

申请日：

2020-04-29

公开(公告)号：

CN211929467U

公开(公告)日：

2020-11-13

发明(设计)人：

沈晓琪朱斌张立李亚康

申请人：

申请人地址：

214000 江苏省无锡市锡山区锡北镇锡港路张泾东段209号

IPC主分类号：

H01L21687

IPC分类号：

H01L2168 H01L2167 C23C16458

代理机构：

杭州天昊专利代理事务所(特殊普通合伙) 33283

代理人：

董世博

法律状态：

专利申请权、专利权的转移

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-09-02	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):H01L 21/687 登记生效日:20220819 变更事项:专利权人变更前权利人:无锡小强半导体科技有限公司变更后权利人:拉普拉斯（无锡）半导体科技有限公司变更事项:地址变更前权利人:214000 江苏省无锡市锡山区锡北镇锡港路张泾东段209号变更后权利人:214192 江苏省无锡市锡山区锡北东青河路3
2020-11-13	授权	授权

共 50 条

[1]

一种石英舟硅片的顶升机构 [P].

朱明明 .

中国专利 :CN213366564U ,2021-06-04

[2]

一种石英舟硅片的顶升机构 [P].

陈嘉荣 ;

杜虎明 ;

卫晓冲 ;

岳军 ;

吕沫 ;

戎有兰 ;

折飞 ;

王鹏鹏 ;

张奇巍 ;

姜志艳 .

中国专利 :CN210628274U ,2020-05-26

[3]

一种AGV顶升机构 [P].

韩勇 ;

邹佳峻 .

中国专利 :CN209522525U ,2019-10-22

[4]

一种硅片顶升机构 [P].

沈晓琪 ;

姚正辉 .

中国专利 :CN213184218U ,2021-05-11

[5]

硅片石英舟舟叉 [P].

竺峰 ;

赵国成 .

中国专利 :CN203787449U ,2014-08-20

[6]

一种舟顶升传输机构 [P].

吴廷斌 ;

张学强 ;

张建伟 ;

罗银兵 ;

李学文 .

中国专利 :CN215477688U ,2022-01-11

[7]

一种硅片石英舟翻转装置 [P].

安迪 .

中国专利 :CN215896363U ,2022-02-22

[8]

一种硅片顶升梳齿机构 [P].

张学强 ;

戴军 ;

张建伟 ;

贾宇鹏 .

中国专利 :CN207068899U ,2018-03-02

[9]

一种用于自石英舟上取出硅片的顶片机构 [P].

潘加永 ;

戴秋喜 .

中国专利 :CN208385430U ,2019-01-15

[10]

一种新型硅片石英舟 [P].

董焕苗 ;

杨益华 ;

岳春霞 ;

李健 .

中国专利 :CN220796679U ,2024-04-16

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