一种石英舟硅片的顶升机构

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202022518143.5

申请日：

2020-11-04

公开(公告)号：

CN213366564U

公开(公告)日：

2021-06-04

发明(设计)人：

朱明明

申请人：

申请人地址：

222000 江苏省连云港市赣榆区厉庄镇工业区吉祥路18号

IPC主分类号：

H01L21687

IPC分类号：

H01L2167

代理机构：

连云港润知专利代理事务所 32255

代理人：

王彦明

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-06-04	授权	授权

共 50 条

[1]

一种石英舟硅片顶升机构 [P].

沈晓琪 ;

朱斌 ;

张立 ;

李亚康 .

中国专利 :CN211929467U ,2020-11-13

[2]

一种石英舟硅片的顶升机构 [P].

陈嘉荣 ;

杜虎明 ;

卫晓冲 ;

岳军 ;

吕沫 ;

戎有兰 ;

折飞 ;

王鹏鹏 ;

张奇巍 ;

姜志艳 .

中国专利 :CN210628274U ,2020-05-26

[3]

一种硅片顶升机构 [P].

沈晓琪 ;

姚正辉 .

中国专利 :CN213184218U ,2021-05-11

[4]

一种用于自石英舟上取出硅片的顶片机构 [P].

潘加永 ;

戴秋喜 .

中国专利 :CN208385430U ,2019-01-15

[5]

一种舟顶升传输机构 [P].

吴廷斌 ;

张学强 ;

张建伟 ;

罗银兵 ;

李学文 .

中国专利 :CN215477688U ,2022-01-11

[6]

一种硅片石英舟翻转装置 [P].

安迪 .

中国专利 :CN215896363U ,2022-02-22

[7]

一种硅片顶升梳齿机构 [P].

张学强 ;

戴军 ;

张建伟 ;

贾宇鹏 .

中国专利 :CN207068899U ,2018-03-02

[8]

一种新型硅片石英舟 [P].

董焕苗 ;

杨益华 ;

岳春霞 ;

李健 .

中国专利 :CN220796679U ,2024-04-16

[9]

一种硅片的扩散的石英舟 [P].

汤芳 ;

常永喜 .

中国专利 :CN214193524U ,2021-09-14

[10]

一种石墨舟拆装顶升机构 [P].

郭吉祥 ;

靳立辉 ;

杨骅 ;

姚长娟 ;

张淳 ;

耿名强 .

中国专利 :CN221149977U ,2024-06-14

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