一种光纤与光波导耦合的方法、结构和晶圆测试方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202110786812.3
申请日
2021-07-12
公开(公告)号
CN113568102A
公开(公告)日
2021-10-29
发明(设计)人
郑煜 郜飘飘 段吉安
申请人
申请人地址
410083 湖南省长沙市岳麓区麓山南路932号
IPC主分类号
G02B624
IPC分类号
G02B625 G02B636 H01L2166
代理机构
长沙启昊知识产权代理事务所(普通合伙) 43266
代理人
谢珍贵
法律状态
公开
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共 50 条
[1]
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