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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-10-16 | 授权 | 授权 |
| 2021-08-17 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 21/67 变更事项:专利权人 变更前:山东元旭光电股份有限公司 变更后:元旭半导体科技股份有限公司 变更事项:地址 变更前:261000 山东省潍坊市高新区玉清街以北银枫路以西光电园第三加速器西区 变更后:261000 山东省潍坊市高新区玉清街以北银枫路以西光电园第三加速器西区 |
| 2022-04-29 | 专利权质押合同登记的生效、变更及注销 | 专利权质押合同登记的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 登记号:Y2022980004083 登记生效日:20220411 出质人:元旭半导体科技股份有限公司 质权人:潍坊银行股份有限公司潍坊金马路支行 发明名称:一种晶圆自动分选机 申请日:20200713 授权公告日:20201016 |
| 2020-09-08 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20200713 |
| 2020-08-14 | 公开 | 公开 |