对准检测装置及对准偏移量的检测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200610068206.3

申请日：

2006-03-20

公开(公告)号：

CN100406846C

公开(公告)日：

2006-10-11

发明(设计)人：

钟博钦钟万河陈建仲

申请人：

申请人地址：

台湾省新竹市

IPC主分类号：

G01B1102

IPC分类号：

G09G300 G01M1100 G01R3100

代理机构：

北京市柳沈律师事务所

代理人：

陶凤波;侯宇

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2006-10-11	公开	公开
2006-12-06	实质审查的生效	实质审查的生效
2008-07-30	授权	授权
2022-03-11	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01B 11/02 申请日:20060320 授权公告日:20080730 终止日期:20210320

共 50 条

[1]

腕臂偏移量检测方法、检测装置 [P].

谢秋里 ;

张俊 ;

杜博文 ;

张立涛 ;

李亚辉 ;

王敬渊 ;

吕向阳 ;

田霆 ;

樊卫民 ;

付添行 ;

李烈龙 .

中国专利 :CN112710241A ,2021-04-27

[2]

减振器油封的失效偏移量检测设备和失效偏移量检测方法 [P].

陈佳佳 ;

董子桥 .

中国专利 :CN118794679A ,2024-10-18

[3]

减振器油封的失效偏移量检测设备和失效偏移量检测方法 [P].

陈佳佳 ;

董子桥 .

中国专利 :CN118794679B ,2024-12-31

[4]

对准标记、对准标记的检测方法和对准标记检测装置 [P].

岳力挽 ;

伍强 .

中国专利 :CN104795383A ,2015-07-22

[5]

套刻对准标记的位置偏移量检测方法及半导体的加工方法 [P].

杨皓宇 ;

白金宝 .

中国专利 :CN117406563B ,2024-06-14

[6]

套刻对准标记的位置偏移量检测方法及半导体的加工方法 [P].

杨皓宇 ;

白金宝 .

中国专利 :CN117406563A ,2024-01-16

[7]

频率偏移量检测装置 [P].

井手美奈子 .

中国专利 :CN1317190A ,2001-10-10

[8]

带钢偏移量的检测方法和装置 [P].

李振垒 ;

袁国 ;

张元祥 ;

康健 ;

高峰 ;

张晓明 ;

王黎筠 ;

王国栋 .

中国专利 :CN111915586A ,2020-11-10

[9]

电梯导轨偏移量检测装置 [P].

郑晓峰 .

中国专利 :CN209263903U ,2019-08-16

[10]

腕臂偏移量检测装置 [P].

谢秋里 ;

张俊 ;

杜博文 ;

张立涛 ;

李亚辉 ;

王敬渊 ;

吕向阳 ;

田霆 ;

樊卫民 ;

付添行 ;

李烈龙 .

中国专利 :CN214149153U ,2021-09-07

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