无弧斑的真空电弧等离子体蒸发离化源

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200810000001.0

申请日：

2008-01-02

公开(公告)号：

CN101476106A

公开(公告)日：

2009-07-08

发明(设计)人：

王殿儒

申请人：

申请人地址：

100095北京市海淀区北安河路7号北京市95-020信箱

IPC主分类号：

C23C1426

IPC分类号：

C23C1424 C23C1432

代理机构：

代理人：

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-09-05	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101451345382 IPC(主分类):C23C 14/26 专利申请号:2008100000010 公开日:20090708
2009-09-16	地址不明的通知	地址不明的通知收件人:金佑民文件名称:发明专利申请公布通知书
2009-07-08	公开	公开
2011-01-26	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101033905835 IPC(主分类):C23C 14/26 专利申请号:2008100000010 申请日:20080102

共 50 条

[1]

无弧斑的真空电弧离子镀膜方法 [P].

王殿儒 ;

金佑民 .

中国专利 :CN101476107B ,2013-12-11

[2]

一种管状阴极受控电弧等离子体蒸发离化源 [P].

王殿儒 .

中国专利 :CN102102178A ,2011-06-22

[3]

磁控液体阴极电弧等离子体蒸发离化源、镀膜装置及方法 [P].

王殿儒 ;

田玉波 ;

陈庆振 ;

高军政 ;

王百湘 ;

田源 .

中国专利 :CN112708858A ,2021-04-27

[4]

双向过滤电弧等离子体源 [P].

理查德·P·韦尔蒂 .

中国专利 :CN101068449A ,2007-11-07

[5]

用于传输真空电弧等离子体的方法和装置 [P].

瓦洛迪迈尔·瓦西里耶维奇·瓦斯利夫 ;

瓦洛迪迈尔·埃夫格尼尔维奇·斯特雷恩茨基 .

中国专利 :CN103298969A ,2013-09-11

[6]

用脉冲电弧等离子体蒸发离化源制备纳米多层膜的方法 [P].

王殿儒 ;

徐健 ;

金佑民 .

中国专利 :CN1616707A ,2005-05-18

[7]

圆形靶阴极真空电弧源等离子体磁过滤矩形引出装置 [P].

吴先映 ;

黄杰 ;

廖斌 ;

张荟星 ;

肖天庆 .

中国专利 :CN105887035B ,2016-08-24

[8]

圆形靶阴极真空电弧源等离子体磁过滤矩形引出装置 [P].

吴先映 ;

肖天庆 ;

黄杰 ;

廖斌 ;

张荟星 .

中国专利 :CN204509452U ,2015-07-29

[9]

真空电弧等离子源 [P].

缪同群 ;

谢圣鸣 .

中国专利 :CN307412498S ,2022-06-21

[10]

电弧等离子体装置 [P].

周开根 .

中国专利 :CN103200758A ,2013-07-10

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