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一种曝光机玻璃基板表面温度控制方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202111542618.7
申请日：
2021-12-16
公开(公告)号：
CN114153128A
公开(公告)日：
2022-03-08
发明(设计)人：
韩永林
申请人：
申请人地址：
215000 江苏省苏州市相城经济技术开发区漕湖街道春兴路9号争丰产业园3号厂房
IPC主分类号：
G03F720
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-03-08 | 公开 | 公开 |
| 2022-03-25 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20211216 |