玻璃基板曝光机

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201220155636.X

申请日：

2012-04-13

公开(公告)号：

CN202563243U

公开(公告)日：

2012-11-28

发明(设计)人：

黄文同黄炳相

申请人：

申请人地址：

230011 安徽省合肥市新站区铜陵北路2177号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

北京银龙知识产权代理有限公司 11243

代理人：

许静;姜精斌

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-11-28	授权	授权
2022-04-08	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20120413 授权公告日:20121128 终止日期:20210413

共 50 条

[1]

曝光机的玻璃基板支撑机构 [P].

刘小成 .

中国专利 :CN203117640U ,2013-08-07

[2]

掩膜板、曝光机和玻璃基板的曝光方法 [P].

周波 ;

李青 ;

王丽红 ;

郑权 .

中国专利 :CN106773527A ,2017-05-31

[3]

一种曝光机基板载台及曝光机 [P].

汪杰 .

中国专利 :CN209606774U ,2019-11-08

[4]

一种曝光机基板载台及曝光机 [P].

汪杰 .

中国专利 :CN209471339U ,2019-10-08

[5]

玻璃基板的曝光对位方法 [P].

付延峰 .

中国专利 :CN103092005B ,2013-05-08

[6]

一种玻璃基板曝光设备温控系统 [P].

韩永林 ;

高宇 ;

张生安 .

中国专利 :CN222394259U ,2025-01-24

[7]

一种曝光机玻璃基板表面温度控制单元 [P].

韩小立 .

中国专利 :CN216351775U ,2022-04-19

[8]

一种提供玻璃基板边缘曝光的多功能曝光机 [P].

李会丽 ;

林彬 ;

李志丹 .

中国专利 :CN105372941A ,2016-03-02

[9]

章勇 ;

黄顺宏 ;

闫明超 ;

罗卫 ;

朱广飞 .

中国专利 :CN207516723U ,2018-06-19

[10]

一种曝光机玻璃基板表面温度控制方法 [P].

韩永林 .

中国专利 :CN114153128A ,2022-03-08

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