曝光机

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201721631748.7
申请日
2017-11-29
公开(公告)号
CN207516723U
公开(公告)日
2018-06-19
发明(设计)人
章勇 黄顺宏 闫明超 罗卫 朱广飞
申请人
申请人地址
518172 广东省深圳市龙岗区横岗街道龙岗大道8288号大运软件小镇43栋
IPC主分类号
G03F720
IPC分类号
代理机构
北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201
代理人
黄德海
法律状态
专利申请权、专利权的转移
国省代码
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共 50 条
[1]
玻璃基板曝光机 [P]. 
黄文同 ;
黄炳相 .
中国专利 :CN202563243U ,2012-11-28
[2]
一种曝光机基板载台及曝光机 [P]. 
汪杰 .
中国专利 :CN209606774U ,2019-11-08
[3]
一种曝光机基板载台及曝光机 [P]. 
汪杰 .
中国专利 :CN209471339U ,2019-10-08
[4]
曝光平台装置及曝光机 [P]. 
丁华龙 .
中国专利 :CN111965945A ,2020-11-20
[5]
曝光机的玻璃基板支撑机构 [P]. 
刘小成 .
中国专利 :CN203117640U ,2013-08-07
[6]
晶圆曝光机 [P]. 
林宪维 ;
张登富 ;
林澍 .
中国专利 :CN220381448U ,2024-01-23
[7]
一种曝光机基台装置及曝光机 [P]. 
安予生 ;
蒋盛超 ;
喻琨 ;
吴春晖 ;
余世荣 .
中国专利 :CN107315324A ,2017-11-03
[8]
一种监控系统与曝光机 [P]. 
许在烈 .
中国专利 :CN214045821U ,2021-08-24
[9]
一种具有自动对准系统的四曝光头光学曝光机 [P]. 
蔡良斌 ;
丁天祥 .
中国专利 :CN203385993U ,2014-01-08
[10]
曝光机 [P]. 
陈志林 .
中国专利 :CN203688997U ,2014-07-02