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曝光机的玻璃基板支撑机构
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201320126319.X
申请日：
2013-03-19
公开(公告)号：
CN203117640U
公开(公告)日：
2013-08-07
发明(设计)人：
刘小成
申请人：
申请人地址：
518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号
IPC主分类号：
G03F720
IPC分类号：
G02F11337
代理机构：
深圳市顺天达专利商标代理有限公司 44217
代理人：
蔡晓红;林俭良
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2013-08-07 | 授权 | 授权 |