玻璃基板的曝光对位方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310021424.1

申请日：

2013-01-21

公开(公告)号：

CN103092005B

公开(公告)日：

2013-05-08

发明(设计)人：

付延峰

申请人：

申请人地址：

518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9—2号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G03F900

代理机构：

深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300

代理人：

刁文魁;唐秀萍

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-05-08	公开	公开
2020-01-07	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G03F 7/20 变更事项:专利权人变更前:深圳市华星光电技术有限公司变更后:TCL华星光电技术有限公司变更事项:地址变更前:518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9—2号变更后:518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号
2013-06-12	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101468524021 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2013100214241 申请日:20130121
2015-01-21	授权	授权

共 50 条

[1]

玻璃基板的对位装置及其对位方法 [P].

巫欣荣 .

中国专利 :CN111546265A ,2020-08-18

[2]

玻璃基板曝光机 [P].

黄文同 ;

黄炳相 .

中国专利 :CN202563243U ,2012-11-28

[3]

曝光机基板对位装置 [P].

余燕青 .

中国专利 :CN206741200U ,2017-12-12

[4]

掩膜板、曝光机和玻璃基板的曝光方法 [P].

周波 ;

李青 ;

王丽红 ;

郑权 .

中国专利 :CN106773527A ,2017-05-31

[5]

曝光机的玻璃基板支撑机构 [P].

刘小成 .

中国专利 :CN203117640U ,2013-08-07

[6]

曝光对位方法 [P].

李炬 ;

李松凌 ;

肖丽 ;

王金鹏 ;

王安建 ;

佘瑞峰 .

中国专利 :CN102749814B ,2012-10-24

[7]

玻璃基板对位装置 [P].

易国兵 .

中国专利 :CN203630425U ,2014-06-04

[8]

曝光机的对位方法 [P].

刘晓佳 ;

邓亮 .

中国专利 :CN105629683B ,2016-06-01

[9]

曝光机的对位系统及其对位方法 [P].

刘巍巍 .

中国专利 :CN111487849B ,2020-08-04

[10]

曝光对位装置和曝光对位方法 [P].

江俊波 ;

魏小丹 ;

朴松鹰 ;

董小龙 ;

张昭 ;

王军才 ;

韦永强 .

中国专利 :CN105467780A ,2016-04-06

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