曝光对位方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210261832.X

申请日：

2012-07-26

公开(公告)号：

CN102749814B

公开(公告)日：

2012-10-24

发明(设计)人：

李炬李松凌肖丽王金鹏王安建佘瑞峰

申请人：

申请人地址：

621700 四川省绵阳市江油市德胜南路87号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G03F900

代理机构：

北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371

代理人：

李世喆

法律状态：

专利申请权、专利权的转移

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-05-25	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):G03F 7/20 登记生效日:20180508 变更事项:专利权人变更前权利人:四川聚能核技术工程有限公司变更后权利人:中国工程物理研究院材料研究所变更事项:地址变更前权利人:621700 四川省绵阳市江油市德胜南路87号变更后权利人:621700 四川省绵阳市江油市华丰新村9号
2012-10-24	公开	公开
2022-07-08	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20120726 授权公告日:20141029 终止日期:20210726
2012-12-19	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101367522695 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:201210261832X 申请日:20120726
2014-10-29	授权	授权

共 50 条

[1]

曝光对位装置和曝光对位方法 [P].

江俊波 ;

魏小丹 ;

朴松鹰 ;

董小龙 ;

张昭 ;

王军才 ;

韦永强 .

中国专利 :CN105467780A ,2016-04-06

[2]

曝光对位系统 [P].

李炬 ;

肖丽 ;

王金鹏 ;

李松凌 ;

王安建 ;

佘瑞峰 .

中国专利 :CN202837810U ,2013-03-27

[3]

曝光对位系统 [P].

李炬 ;

肖丽 ;

王金鹏 ;

李松凌 ;

王安建 ;

佘瑞峰 .

中国专利 :CN102759865B ,2012-10-31

[4]

曝光机的对位方法 [P].

刘晓佳 ;

邓亮 .

中国专利 :CN105629683B ,2016-06-01

[5]

曝光机的对位系统及其对位方法 [P].

刘巍巍 .

中国专利 :CN111487849B ,2020-08-04

[6]

曝光装置及其对位曝光方法 [P].

王建勋 ;

林庆鸿 ;

吴嘉训 .

中国专利 :CN109375478B ,2019-02-22

[7]

玻璃基板的曝光对位方法 [P].

付延峰 .

中国专利 :CN103092005B ,2013-05-08

[8]

曝光机对位修复系统及方法 [P].

李炬 ;

李松凌 ;

王金鹏 ;

肖丽 ;

王安建 ;

佘瑞峰 .

中国专利 :CN102768475A ,2012-11-07

[9]

曝光对位装置 [P].

黄铭华 ;

庄江山 ;

范家毓 ;

吴玙之 .

中国专利 :CN222618954U ,2025-03-14

[10]

曝光机基板对位装置 [P].

余燕青 .

中国专利 :CN206741200U ,2017-12-12

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