曝光机基板对位装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201720492503.4

申请日：

2017-05-05

公开(公告)号：

CN206741200U

公开(公告)日：

2017-12-12

发明(设计)人：

余燕青

申请人：

申请人地址：

523000 广东省东莞市万江区拔蛟窝社区创业路工业区

IPC主分类号：

G03F900

IPC分类号：

代理机构：

东莞市创益专利事务所 44249

代理人：

李卫平

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-12-12	授权	授权

共 50 条

[1]

曝光对位装置 [P].

黄铭华 ;

庄江山 ;

范家毓 ;

吴玙之 .

中国专利 :CN222618954U ,2025-03-14

[2]

一种双面基板对位曝光机 [P].

汤志权 ;

周正 .

中国专利 :CN210075726U ,2020-02-14

[3]

曝光对位装置和曝光对位方法 [P].

江俊波 ;

魏小丹 ;

朴松鹰 ;

董小龙 ;

张昭 ;

王军才 ;

韦永强 .

中国专利 :CN105467780A ,2016-04-06

[4]

玻璃基板的曝光对位方法 [P].

付延峰 .

中国专利 :CN103092005B ,2013-05-08

[5]

自动对位曝光机 [P].

程新安 .

中国专利 :CN208421518U ,2019-01-22

[6]

一种单面曝光机的对位装置 [P].

张鸿明 .

中国专利 :CN201170837Y ,2008-12-24

[7]

一种曝光机用升降对位装置 [P].

陈宁 .

中国专利 :CN205353575U ,2016-06-29

[8]

一种曝光机预对位装置及曝光机 [P].

王鹏飞 ;

史朋超 .

中国专利 :CN109597284A ,2019-04-09

[9]

曝光机的对位方法 [P].

刘晓佳 ;

邓亮 .

中国专利 :CN105629683B ,2016-06-01

[10]

曝光机的对位光源 [P].

张鸿明 .

中国专利 :CN2893747Y ,2007-04-25

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