曝光机对位修复系统及方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210261507.3

申请日：

2012-07-26

公开(公告)号：

CN102768475A

公开(公告)日：

2012-11-07

发明(设计)人：

李炬李松凌王金鹏肖丽王安建佘瑞峰

申请人：

申请人地址：

621700 四川省绵阳市江油市德胜南路87号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371

代理人：

李世喆

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-12-26	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101373120901 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2012102615073 申请日:20120726
2015-05-06	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101714509556 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2012102615073 申请公布日:20121107
2012-11-07	公开	公开

共 50 条

[1]

曝光机的对位系统及其对位方法 [P].

刘巍巍 .

中国专利 :CN111487849B ,2020-08-04

[2]

曝光对位方法 [P].

李炬 ;

李松凌 ;

肖丽 ;

王金鹏 ;

王安建 ;

佘瑞峰 .

中国专利 :CN102749814B ,2012-10-24

[3]

曝光对位系统 [P].

李炬 ;

肖丽 ;

王金鹏 ;

李松凌 ;

王安建 ;

佘瑞峰 .

中国专利 :CN202837810U ,2013-03-27

[4]

曝光对位系统 [P].

李炬 ;

肖丽 ;

王金鹏 ;

李松凌 ;

王安建 ;

佘瑞峰 .

中国专利 :CN102759865B ,2012-10-31

[5]

曝光机的对位方法 [P].

刘晓佳 ;

邓亮 .

中国专利 :CN105629683B ,2016-06-01

[6]

自动对位曝光机 [P].

程新安 .

中国专利 :CN208421518U ,2019-01-22

[7]

曝光机覆铜箔板对位系统 [P].

李炬 ;

王金鹏 ;

肖丽 ;

李松凌 ;

王安建 ;

佘瑞峰 .

中国专利 :CN202794845U ,2013-03-13

[8]

基于CCD对位系统的曝光机 [P].

喻良岳 .

中国专利 :CN203433265U ,2014-02-12

[9]

基于CCD对位系统的曝光机 [P].

喻良岳 .

中国专利 :CN104111586A ,2014-10-22

[10]

一种曝光机预对位装置及曝光机 [P].

王鹏飞 ;

史朋超 .

中国专利 :CN109597284A ,2019-04-09

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