用于存放晶圆片的收纳装置

被引：0

申请号：

CN202220519568.4

申请日：

2022-03-10

公开(公告)号：

CN216749837U

公开(公告)日：

2022-06-14

发明(设计)人：

董鹏展黄寓洋

申请人：

申请人地址：

215000 江苏省苏州市工业园区星湖街218号生物纳米园A4楼109C单元

IPC主分类号：

H01L21673

IPC分类号：

代理机构：

南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256

代理人：

赵世发

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-06-14	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆片收纳机构 [P].

李继忠 ;

李述周 ;

朱春 .

中国专利 :CN210391967U ,2020-04-24

[2]

晶圆片铲片收纳刷洗装置 [P].

李继忠 ;

李述周 ;

朱春 .

中国专利 :CN210040149U ,2020-02-07

[3]

一种晶圆片的存放装置 [P].

张栖源 .

中国专利 :CN207852636U ,2018-09-11

[4]

一种用于晶圆片生产的成品收纳集料装置 [P].

曹金余 .

中国专利 :CN217933756U ,2022-11-29

[5]

具有晶圆片定位功能的晶圆片承载装置 [P].

张容华 ;

郭大豪 ;

张茂展 .

中国专利 :CN221176190U ,2024-06-18

[6]

一种晶圆片输送存放装置 [P].

于文奇 ;

乔立宝 ;

张彦锋 .

中国专利 :CN216784296U ,2022-06-21

[7]

晶圆片储存装置 [P].

姚惟梁 ;

王亮 .

中国专利 :CN217426694U ,2022-09-13

[8]

用于晶圆片胶边去除装置 [P].

程玉学 ;

杨雪梅 .

中国专利 :CN218299779U ,2023-01-13

[9]

用于晶圆片架的载具 [P].

邱摩西 ;

刘汝拯 ;

陈松平 ;

何江波 .

中国专利 :CN217405378U ,2022-09-09

[10]

晶圆片柔性理片装置 [P].

刘军 ;

张端彬 ;

张彦鹏 .

中国专利 :CN222300655U ,2025-01-03

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