一种晶圆片的存放装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201820320539.9

申请日：

2018-03-09

公开(公告)号：

CN207852636U

公开(公告)日：

2018-09-11

发明(设计)人：

张栖源

申请人：

申请人地址：

335400 江西省鹰潭市贵溪市经济开发区创新创业园9栋

IPC主分类号：

H01L21673

IPC分类号：

B65D8530

代理机构：

北京久维律师事务所 11582

代理人：

邢江峰

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-09-11	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆片输送存放装置 [P].

于文奇 ;

乔立宝 ;

张彦锋 .

中国专利 :CN216784296U ,2022-06-21

[2]

用于存放晶圆片的收纳装置 [P].

董鹏展 ;

黄寓洋 .

中国专利 :CN216749837U ,2022-06-14

[3]

一种晶圆存放装置 [P].

孔彬 ;

相宇阳 ;

戴金方 ;

耿晓杨 .

中国专利 :CN220491856U ,2024-02-13

[4]

一种晶圆存放装置 [P].

吴继勇 .

中国专利 :CN216648247U ,2022-05-31

[5]

一种晶圆片存放盒 [P].

罗郑彪 ;

付建波 ;

刘磊 ;

宗华 ;

蒋盛翔 ;

孟令海 ;

胡晓东 .

中国专利 :CN120376476A ,2025-07-25

[6]

一种半导体晶圆片存放设备 [P].

秦小军 .

中国专利 :CN221394816U ,2024-07-23

[7]

一种晶圆片的取片装置 [P].

洪加添 ;

潘锴 .

中国专利 :CN217768313U ,2022-11-08

[8]

一种晶圆存放装置的晶圆检测方法 [P].

詹东 ;

朱绍琦 ;

葛敬昌 ;

薛增辉 ;

张胜森 ;

张欢 ;

叶莹 .

中国专利 :CN120749051B ,2025-11-25

[9]

一种晶圆存放装置的晶圆检测方法 [P].

詹东 ;

朱绍琦 ;

葛敬昌 ;

薛增辉 ;

张胜森 ;

张欢 ;

叶莹 .

中国专利 :CN120749051A ,2025-10-03

[10]

一种晶圆片换片装置 [P].

旷贤国 ;

李佳晖 .

中国专利 :CN221282067U ,2024-07-05

← 1 2 3 4 5 →