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一种晶圆存放装置的晶圆检测方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202511200010.4
申请日：
2025-08-26
公开(公告)号：
CN120749051A
公开(公告)日：
2025-10-03
发明(设计)人：
詹东 朱绍琦 葛敬昌 薛增辉 张胜森 张欢 叶莹
申请人：
上海果纳半导体技术有限公司
申请人地址：
200120 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区博艺路99号、111号6幢1层101室
IPC主分类号：
H01L21/673
IPC分类号：
H01L21/67
代理机构：
苏州汇诚汇智专利代理事务所(普通合伙) 32623
代理人：
张聪
法律状态：
授权
国省代码：
上海市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-11-25 授权 授权
2025-10-03 公开 公开
2025-10-24 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/673申请日:20250826
共 50 条
[1]
一种晶圆存放装置的晶圆检测方法 [P]. 
詹东 ;
朱绍琦 ;
葛敬昌 ;
薛增辉 ;
张胜森 ;
张欢 ;
叶莹 .
中国专利 :CN120749051B ,2025-11-25
[2]
一种晶圆存放装置 [P]. 
詹东 ;
朱绍琦 ;
葛敬昌 ;
薛增辉 ;
张胜森 ;
张欢 ;
叶莹 .
中国专利 :CN120727623A ,2025-09-30
[3]
一种晶圆存放装置 [P]. 
詹东 ;
朱绍琦 ;
葛敬昌 ;
薛增辉 ;
张胜森 ;
张欢 ;
叶莹 .
中国专利 :CN120727623B ,2025-11-25
[4]
晶圆检测方法及晶圆检测装置 [P]. 
苏旭文 .
中国专利 :CN119601486A ,2025-03-11
[5]
晶圆存放装置及检测方法 [P]. 
詹东 ;
朱绍琦 ;
葛敬昌 ;
薛增辉 ;
张胜森 ;
张欢 ;
叶莹 .
中国专利 :CN120709205B ,2025-11-25
[6]
晶圆存放装置及检测方法 [P]. 
詹东 ;
朱绍琦 ;
葛敬昌 ;
薛增辉 ;
张胜森 ;
张欢 ;
叶莹 .
中国专利 :CN120709205A ,2025-09-26
[7]
晶圆检测装置及晶圆片检测方法 [P]. 
陈蕖 ;
徐铭 ;
屠国强 ;
陈新来 ;
沈一林 .
中国专利 :CN118800678A ,2024-10-18
[8]
一种晶圆检测装置、晶圆装载装置和晶圆传输装置 [P]. 
叶莹 ;
张庆 ;
鲍伟成 ;
王文广 ;
祝佳辉 ;
梁烁 ;
王旭晨 ;
张冬峰 .
中国专利 :CN115527899A ,2022-12-27
[9]
晶圆、晶圆检测系统与晶圆检测方法 [P]. 
吴俊德 ;
赖彦霖 ;
陈佶亨 .
中国专利 :CN110943002B ,2020-03-31
[10]
晶圆检测方法及晶圆检测装置 [P]. 
不公告发明人 .
中国专利 :CN112735959A ,2021-04-30
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