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晶圆检测装置及晶圆片检测方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202411146215.4
申请日：
2024-08-20
公开(公告)号：
CN118800678A
公开(公告)日：
2024-10-18
发明(设计)人：
陈蕖
徐铭
屠国强
陈新来
沈一林
申请人：
上海至纯洁净系统科技股份有限公司
至微半导体（上海）有限公司
申请人地址：
200241 上海市闵行区紫海路170号
IPC主分类号：
H01L21/66
IPC分类号：
H01L21/67
代理机构：
上海申新律师事务所 31272
代理人：
吴轶淳
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
上海市
市辖区
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-11-05 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/66申请日:20240820 |
| 2024-10-18 | 公开 | 公开 |