晶圆检测方法及晶圆检测装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201911030448.7

申请日：

2019-10-28

公开(公告)号：

CN112735959A

公开(公告)日：

2021-04-30

发明(设计)人：

不公告发明人

申请人：

申请人地址：

230001 安徽省合肥市蜀山区经济技术开发区翠微路6号海恒大厦630室

IPC主分类号：

H01L2166

IPC分类号：

代理机构：

上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294

代理人：

孙佳胤;陈丽丽

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-04-30	公开	公开
2022-03-18	授权	授权
2021-05-21	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/66 申请日:20191028

共 50 条

[1]

晶圆检测方法及晶圆检测装置 [P].

苏旭文 .

中国专利 :CN119601486A ,2025-03-11

[2]

晶圆检测结构及晶圆检测设备 [P].

刘桂林 ;

徐焕 ;

雷传 ;

杜振东 ;

吴灿 ;

王坤 ;

侯魁 .

中国专利 :CN223244330U ,2025-08-19

[3]

晶圆检测设备的控制方法、晶圆检测方法及晶圆检测设备 [P].

张鹏斌 ;

魏新和 ;

董坤玲 ;

段晓炳 ;

吴彦强 ;

杨亭 ;

张谦 ;

陈鲁 .

中国专利 :CN120685668A ,2025-09-23

[4]

晶圆检测治具及晶圆检测装置 [P].

朱泽星 .

中国专利 :CN108872260B ,2018-11-23

[5]

晶圆位置检测装置、晶圆位置检测方法 [P].

袁林涛 .

中国专利 :CN110729216A ,2020-01-24

[6]

晶圆检测装置及晶圆片检测方法 [P].

陈蕖 ;

徐铭 ;

屠国强 ;

陈新来 ;

沈一林 .

中国专利 :CN118800678A ,2024-10-18

[7]

晶圆检测设备及晶圆检测方法 [P].

郭宏雁 ;

杨轩 ;

胡文龙 ;

王俊夫 ;

马驰 .

中国专利 :CN120895487A ,2025-11-04

[8]

晶圆检测方法及晶圆检测系统 [P].

罗聪 .

中国专利 :CN109378279A ,2019-02-22

[9]

晶圆检测设备及晶圆检测方法 [P].

何跃 .

中国专利 :CN119694919A ,2025-03-25

[10]

晶圆检测设备及晶圆检测方法 [P].

胡俊林 ;

郑隆结 ;

孙会民 .

中国专利 :CN120314331B ,2025-08-15

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