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晶圆检测方法及晶圆检测系统
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201811342637.3
申请日：
2018-11-12
公开(公告)号：
CN109378279A
公开(公告)日：
2019-02-22
发明(设计)人：
罗聪
申请人：
申请人地址：
430205 湖北省武汉市东湖开发区高新四路18号
IPC主分类号：
H01L2166
IPC分类号：
代理机构：
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237
代理人：
屈蘅
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-12-18 | 授权 | 授权 |
| 2019-02-22 | 公开 | 公开 |
| 2019-03-19 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/66 申请日:20181112 |