晶圆片位置检测装置及检测方法

被引：0

申请号：

CN202111623598.6

申请日：

2021-12-28

公开(公告)号：

CN114334691A

公开(公告)日：

2022-04-12

发明(设计)人：

杨帆

申请人：

申请人地址：

710000 陕西省西安市高新区西沣南路1888号1-3-029室

IPC主分类号：

H01L2166

IPC分类号：

H01L2167

代理机构：

北京银龙知识产权代理有限公司 11243

代理人：

王丹

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-04-29	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/66 申请日:20211228
2022-04-12	公开	公开

共 50 条

[1]

晶圆位置检测装置、晶圆位置检测方法 [P].

袁林涛 .

中国专利 :CN110729216A ,2020-01-24

[2]

晶圆检测装置及晶圆片检测方法 [P].

陈蕖 ;

徐铭 ;

屠国强 ;

陈新来 ;

沈一林 .

中国专利 :CN118800678A ,2024-10-18

[3]

晶圆位置检测装置及检测方法 [P].

王坚 ;

何增华 ;

贾照伟 ;

王晖 .

中国专利 :CN102867765A ,2013-01-09

[4]

晶圆位置检测装置和检测方法 [P].

王坚 ;

赵宇 ;

吴均 ;

陈福发 ;

王晖 .

中国专利 :CN103515264A ,2014-01-15

[5]

腔室晶圆位置检测装置及检测方法 [P].

朱磊 ;

王佳 ;

胡冬冬 ;

陈璐 ;

迈克尔·拜克拉诺夫 ;

艾尔博·费尔 ;

许开东 .

中国专利 :CN110164787B ,2019-08-23

[6]

腔内晶圆位置检测装置及检测方法 [P].

王兆祥 ;

吴磊 ;

梁洁 ;

涂乐义 ;

谭小龙 .

中国专利 :CN118173475A ,2024-06-11

[7]

晶圆位置检测装置 [P].

朱兵 .

中国专利 :CN220856495U ,2024-04-26

[8]

晶圆位置检测装置 [P].

王昕昀 ;

孟杰 ;

薛波 ;

吴龙江 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN208954953U ,2019-06-07

[9]

一种晶圆片缺口检测装置及检测方法 [P].

程永龙 ;

马林 ;

韩忠俊 ;

何齐宇 .

中国专利 :CN117393453A ,2024-01-12

[10]

一种晶圆片缺口检测装置及检测方法 [P].

程永龙 ;

马林 ;

韩忠俊 ;

何齐宇 .

中国专利 :CN117393453B ,2024-02-13

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