腔室晶圆位置检测装置及检测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810140953.6

申请日：

2018-02-11

公开(公告)号：

CN110164787B

公开(公告)日：

2019-08-23

发明(设计)人：

朱磊王佳胡冬冬陈璐迈克尔·拜克拉诺夫艾尔博·费尔许开东

申请人：

申请人地址：

221300 江苏省徐州市邳州市经济开发区辽河西路8号

IPC主分类号：

H01L2166

IPC分类号：

H01L2167

代理机构：

北京得信知识产权代理有限公司 11511

代理人：

孟海娟

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-05-25	授权	授权
2019-09-17	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/66 申请日:20180211
2019-08-23	公开	公开

共 50 条

[1]

腔内晶圆位置检测装置及检测方法 [P].

王兆祥 ;

吴磊 ;

梁洁 ;

涂乐义 ;

谭小龙 .

中国专利 :CN118173475A ,2024-06-11

[2]

晶圆位置检测装置和检测方法 [P].

王坚 ;

赵宇 ;

吴均 ;

陈福发 ;

王晖 .

中国专利 :CN103515264A ,2014-01-15

[3]

晶圆位置检测装置、晶圆位置检测方法 [P].

袁林涛 .

中国专利 :CN110729216A ,2020-01-24

[4]

晶圆位置检测装置及检测方法 [P].

王坚 ;

何增华 ;

贾照伟 ;

王晖 .

中国专利 :CN102867765A ,2013-01-09

[5]

晶圆片位置检测装置及检测方法 [P].

杨帆 .

中国专利 :CN114334691A ,2022-04-12

[6]

一种位置检测传感器、晶圆盒位置检测装置及方法 [P].

华小伟 ;

王超 .

中国专利 :CN112378354B ,2021-02-19

[7]

晶圆的检测装置及晶圆的检测方法 [P].

苏旭文 ;

戎淇舰 ;

吕天爽 ;

蒙亮亮 .

中国专利 :CN120933184A ,2025-11-11

[8]

处理腔中晶圆位置检测装置及方法 [P].

周广伟 ;

巴文林 .

中国专利 :CN102856229A ,2013-01-02

[9]

晶圆位置检测装置 [P].

王昕昀 ;

孟杰 ;

薛波 ;

吴龙江 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN208954953U ,2019-06-07

[10]

位置检测装置及位置检测方法 [P].

朝仓僚 ;

伊藤雅充 .

日本专利 :CN113168265B ,2024-07-19

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