晶圆位置检测装置及检测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210369969.7

申请日：

2012-09-27

公开(公告)号：

CN102867765A

公开(公告)日：

2013-01-09

发明(设计)人：

王坚何增华贾照伟王晖

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江高科技园区蔡伦路1690号4幢

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L2166 G01B1100

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司 31100

代理人：

陆嘉

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-01-09	公开	公开
2013-02-20	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101397924434 IPC(主分类):H01L 21/67 专利申请号:2012103699697 申请日:20120927
2020-03-27	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 21/67 变更事项:专利权人变更前:盛美半导体设备(上海)有限公司变更后:盛美半导体设备(上海)股份有限公司变更事项:地址变更前:201203 上海市浦东新区张江高科技园区蔡伦路1690号4幢变更后:201203 上海市浦东新区自由贸易试验区蔡伦路1690号第4幢
2015-04-15	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆位置检测装置、晶圆位置检测方法 [P].

袁林涛 .

中国专利 :CN110729216A ,2020-01-24

[2]

晶圆位置检测装置 [P].

朱兵 .

中国专利 :CN220856495U ,2024-04-26

[3]

晶圆片位置检测装置及检测方法 [P].

杨帆 .

中国专利 :CN114334691A ,2022-04-12

[4]

晶圆位置检测装置和检测方法 [P].

王坚 ;

赵宇 ;

吴均 ;

陈福发 ;

王晖 .

中国专利 :CN103515264A ,2014-01-15

[5]

腔室晶圆位置检测装置及检测方法 [P].

朱磊 ;

王佳 ;

胡冬冬 ;

陈璐 ;

迈克尔·拜克拉诺夫 ;

艾尔博·费尔 ;

许开东 .

中国专利 :CN110164787B ,2019-08-23

[6]

腔内晶圆位置检测装置及检测方法 [P].

王兆祥 ;

吴磊 ;

梁洁 ;

涂乐义 ;

谭小龙 .

中国专利 :CN118173475A ,2024-06-11

[7]

晶圆位置检测装置 [P].

王昕昀 ;

孟杰 ;

薛波 ;

吴龙江 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN208954953U ,2019-06-07

[8]

晶圆检测装置及晶圆片检测方法 [P].

陈蕖 ;

徐铭 ;

屠国强 ;

陈新来 ;

沈一林 .

中国专利 :CN118800678A ,2024-10-18

[9]

位置检测装置及位置检测方法 [P].

冈本裕司 .

中国专利 :CN107662415B ,2018-02-06

[10]

位置检测装置及位置检测方法 [P].

冈本裕司 .

中国专利 :CN110446905A ,2019-11-12

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